レーザーマーカー

レーザーマーカーは試料表面をCCDカメラで拡大観察しながら、細く絞ったレーザー光を照射し、任意の場所へ簡単にマーキングできる装置です。集束イオンビーム装置（FIB）や走査電子顕微鏡（SEM）の電子像では確認が困難であった変色部位などの特定に、そのマーキング機能は威力を発揮します。

微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。

装置

レーザーマーカー

特徴

・532nmと355nmの2種類のレーザーを切り替えて使用できるため、金属材料、絶縁材料、TFT、などの多種類のサンプルに対応可能。
・対物レンズの倍率を変えることで、異なったサイズ（1μm角～150μm角）のマーキングが行うことができます。

メーカー

HOYA CANDEO OPTRONICS㈱社

型式

LR-2100ST

仕様

レーザー波長	532nmと355nmの2種類 （切替式）
照射ビーム寸法	1μm角～150μm角
対物レンズ	10×（観察用）、20×、50×、100×