低エネルギーイオンミリング装置
透過電子顕微鏡（TEM）サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。
装置
低エネルギーイオンミリング装置
特徴
・集束イオンビーム装置（FIB）で作製したTEMサンプルのダメージ層を除去することができます。
・試料回転ステージにより、360°全方向から任意の方向でビーム照射が可能です。
・サンプルを薄片化することで、高分解能観察が可能となります。
メーカー
リンダ社
型式
Gentle Mill IV5
仕様
| 加速電圧 | 100V～2kV |
| ビーム入射角度 | 1～45° |
| オシレーション機能 | 1～120° |
| 試料サイズ | 3mmφメッシュ、FIB用各種メッシュ |