防振ゴムの断面観察事例

防振ゴムの内部構造を調査するため、イオンミリング装置にて作製した断面のSEM観察を行いました。

<試料>
防振ゴム
<使用機器>
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
断面試料作製用イオンミリング装置

防振ゴムの断面SEM像 (断面加工の比較)
図1 防振ゴムの断面SEM像 (断面加工の比較)

イオンミリング加工は無応力加工のため、複合材の断面加工も可能です。