イオンミリングを活用した共晶ハンダの断面SEM観察事例
共晶ハンダの内部構造を調べるため、クライオイオンミリングにて作製した断面のSEM観察を行いました。
<試料>
Sn-Pb共晶ハンダ
<使用機器>
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
断面試料作製用イオンミリング装置
![断面イオンミリングを行ったSn-Pb共晶はんだのSEM像 (サンプル冷却有無での仕上げの比較)](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA208_f001-e1637825929274.png)
(サンプル冷却有無での仕上げの比較)
冷却なしではPbの界面が溶融化し、本来の解析が不可能となっています。
共晶ハンダの内部構造を調べるため、クライオイオンミリングにて作製した断面のSEM観察を行いました。
<試料>
Sn-Pb共晶ハンダ
<使用機器>
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
断面試料作製用イオンミリング装置
冷却なしではPbの界面が溶融化し、本来の解析が不可能となっています。