金めっき異常部の断面解析事例
金めっき上に確認された異常部の原因について、FIB-SEMを用いて調査しました。
<試料>
試料:Auめっき/Niめっき/Cu母材
<使用機器>
集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS)
めっき異常部の表面観察&分析
![めっき異常部表面の元素分析(点分析)](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA213_f001-e1638324681350.png)
→ 内部を観察するため、FIB断面加工へ
めっき異常部の断面加工
FIB-SEMにより断面を作製
![FIB加工により異常部の断面を作製](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA213_f002-e1638324984538-1024x509.png)
めっき異常部断面のSEM観察
![めっき異常部断面のSEM観察](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA213_f003-e1638325216804.png)
・付着物ではなく、内部から噴出した腐食生成物?
・金めっきに無数のボイドあり
めっき異常部の断面の元素分析(面分析)
![めっき異常部断面の元素分析(面分析)](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA213_f004-e1638326163850-1024x525.png)
![めっき異常部断面の元素分析(面分析)](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA213_f005-e1638326839464.png)
めっきの異常部解析
~結果~
・異常部は付着物ではなく、めっき内部から噴出
・Auめっきに無数のボイドが存在
・Au/Ni界面にClを含むNi酸化物が存在
~推定原因~
・Auめっき前の洗浄不足によりClが残留?
・Auめっきのボイドから下地(Ni)へOが供給
→異常部は腐食生成物がめっき表面に形成したもの