FIB-SEMによる断面観察事例

FIBで加工した断面を、SEMで斜め上から観察します。

FIB-SEM

分析事例(クリックで各分析事例に移動します)

FIB-SEMによるコネクタ表面のめっきの断面観察

<試料>
市販のコネクタ端子

FIB加工は無応力のため、Auめっき内のボイドも潰さずに観察することができます。
金属、セラミックス、高分子材料において同様の観察を行うことができます。

FIB-SEMによるコネクタ表面のめっきの断面観察

FIB-SEMによる塗膜の断面観察および分析

<試料>
塗膜

「FIB加工→断面のSEM観察→断面のEDS分析」を行うことにより、内部構造の観察と元素分析を行うことができます。