機器一覧 | 微細構造解析分野 主要機器 電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS） 分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS） 分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/STEM/EDS） 構造解析用集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS/EBSD） 集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS） –前処理装置– 断面・平面イオンミリング（JEOL CP） 断面・平面イオンミリング（GATAN） 精密機械研磨装置（Leica EM-TXP） ウルトラミクロトーム 低エネルギーイオンミリング装置（Gentle Mill） マニュピレーター レーザーマーカー
