電子技術部のご紹介

電子システムの試験・計測および電子デバイスのプロセス・実装分野で技術開発をお手伝いします。

電磁ノイズ放射・電磁ノイズ耐性などEMC評価、温湿度サイクルなど環境試験
電気特性評価、磁気測定など評価技術
マイクロ波帯の高周波測定、電磁界シミュレーションによる設計・解析
薄膜作製・評価技術、微細加工技術、マイクロマシニング技術、電子デバイスの開発・試作
膜厚・膜質評価、微細形状観察、Ｘ線回折試験など評価技術
電子部品の接合強度やパワーモジュールの熱特性など各種実装評価
パワーサイクル試験など耐久性試験および超音波・Ｘ線ＣＴによる非破壊内部不良観察

EMC試験のご紹介（海老名本部）

微細加工・MEMS開発のご紹介

その他の開発事例のご紹介

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グループのご紹介

電子デバイスグループのご紹介

電子部品、センサ等に関する薄膜技術、微細加工、実装技術を担当しています。

主な技術支援項目

プロセス：薄膜作製、ドライエッチング、熱処理、ダイシングなどのデバイス試作
実　装　：ワイヤーボンディング、ナノ粒子接合などの実装試作・評価
評　価　：レーザ顕微鏡、膜厚測定などの材料評価、X線CT、超音波画像による非破壊観察・評価

研究開発・企業支援事例

電子材料グループのご紹介

電子材料チームでは、薄膜作製・評価、微細加工技術、マイクロマシニング技術に関する研究開発、技術支援、及び人材育成を行っています。

主な技術支援項目

薄膜作製：真空蒸着、スパッタリング、ＣＶＤ等
微細加工：電子線描画、フォトリソグラフィ、マイクロ電鋳プロセス等
薄膜評価：膜厚測定、Ｘ線回折試験（逆格子マッピング）、レーザー顕微鏡等

平成29年度にハイブリッドレーザー顕微鏡と多目的Ｘ線回折装置を新規に導入しております。

ハイブリッドレーザー顕微鏡

多目的Ｘ線回折装置

研究開発・企業支援事例

電磁環境グループのご紹介

「電磁環境技術」、「高周波測定技術」、「電磁界シミュレーション技術」をキーワードとして研究開発及び相談、試験、研究、人材育成等の支援を行っています。

主な試験・研究項目

電波暗室を利用した電子機器のEMC（電磁ノイズ）試験
ベクトル・ネットワーク・アナライザ（VNA）による高周波測定（伝送特性、誘電率、電磁波シールドなど）
電磁界シミュレーションによる高周波の設計・解析支援

令和2年度に、放射・伝導電磁界イミュニティ試験システム（6GHzまで対応）、令和3年度にマイクロ波ネットワークアナライザ（ミリ波67GHzまで対応）を更新しております。

電波暗室改修及びシールド室

マイクロ波・ミリ波ネットワークアナライザ

研究開発・企業支援事例

　EV、IoT機器の電磁ノイズ試験において、高精度な電磁界計測を可能とした光伝送システムを県内中小企業および大学と共同開発しました。

※本研究事業は、KISTECが公募した産学公連携事業化促進研究に採択されて実施しました。

　マイクロ波・ミリ波ネットワークアナライザの測定技術（誘電率、Sパラメータ、アイパターン解析など）と電磁界シミュレーションの活用により、40Gbps以上の高速デジタル伝送可能なフレキシブル・プリント配線板の研究開発支援を行っています。

EMI測定
VCCI規格(CISPR32)に対応した放射妨害波測定、伝導妨害波測定（電源・通信）

イミニュティ試験
静電気放電、放射・伝導電磁界、FT／B、雷サージ等の耐ノイズ性試験

ネットワークアナライザ等の測定技術と電磁界シミュレーションの活用により、電子部品・電子材料等の研究開発支援を行っています。

電子システムグループのご紹介

「温度・湿度環境試験」、「電気・磁気計測技術」、「電子回路技術」をキーワードとした研究開発及び相談、試験、研究、人材育成等の支援を行っています。

主な試験・研究項目

恒温恒湿槽、熱衝撃試験機、PCT試験機による電気機器・部品等の環境試験
磁気測定、抵抗測定などの電磁気特性評価
電流・電圧等各種電気量の計測、電子回路・部品・材料の試験

研究開発・企業支援事例

環境試験機器の整備

○急速温度変化サイクル試験機
（代表機器の型番）
　　ESPEC　ARSF-0250-15
（主な仕様）
　　温度制御範囲： -70～+180℃
　　湿度制御範囲： 10～98%R.H.（温度により変動）
　　内容量　： 249リットル (W60×D80×H83 cm)
　　IEC 60068-2-14-Nb/2-30/2-38に適合
　　最速15℃/分の急速温度変化性能（－45℃⇔＋155℃において）

○熱衝撃試験機
（代表機器の型番）
　　ESPEC　TSA-73ES-W
（主な仕様）
　　低温側温度制御範囲： -70 ～ 0℃、
　　高温側温度制御範囲： +60 ～200℃
　　内容量　： 70リットル (W41×D37×H46 cm)
　　通常棚（5kgまで）×2段、重量棚（30kgまで）×2段
　　フラットケーブル孔（25×100mm長孔型）×1
　　デフロストフリー機能により最大500時間連続運転可能
　　（2ゾーン運転かつ、さらし時間10分以上60分未満の場合のみ）。

○高度加速寿命（PCT）試験機
（代表機器の型番）
　　ESPEC　EHS-412M
（主な仕様）
　　温度制御範囲：105～162.2℃、
　　湿度制御範囲： 75 ～100%RH
　　圧力制御範囲：0.020～0.392MPa（Gauge）
　　内容量　： φ294×L318 mm
　　通常棚（5kgまで）×2段（大・小各1段）
　　乾湿球温度制御｣｢不飽和制御｣｢濡れ飽和制御｣の3モードを装備
　　＊試験中に空気を残留させることにより、酸素が劣化要因に影響する試料の加速寿命試験に有効なAir－HAST 機能装備。　