微小部蛍光X線分析装置（XRF）
金属材料を主体にどのような元素で構成されているか分析することができます。
蛍光Ｘ線(XRF)分析装置は、試料にＸ線を照射し発生する蛍光Ｘ線を測定することで元素の確認（定性）や、検出された各元素のピーク強度を理論計算(FP法)することで大まかな含有量（半定量）を得ることができる装置です。
金属，半導体，有機物及びセラミックスとあらゆる固体に対応でき、元素情報を得るための入り口的な装置として、中小企業から大企業の多種多様なニーズに対応できる装置です。
装置
微小部蛍光X線分析装置（XRF）
特徴
♦ 大きい試料も非破壊で測定
♦ 微小からバルクまでの分析領域
♦ 広範囲の高速マッピング
メーカー
SIIナノテクノロジー
型式
SEA6000VX HSFinder
仕様
| Ｘ線源 | 空冷式小型X線管球（Wターゲット）、コリメータ方式 |
| Ｘ線照射向き | 上面照射 |
| 分析領域 | 200μm，500μm，1.2mm，3mm |
| 分析元素 | Mg～U （Heパージ使用時 Na～U） |
| マッピング面積 | 250×200mm |
分析事例（クリックで各分析事例に移動します）
メモリー基板のマッピング分析
面分析により各元素の分布を確認することができます。
メモリー基板の面分析
大きな試料にも対応可能です（最大250×200mm）
赤（Cu）, 緑（Ag）, 青（Pb）
金属製品の素材確認
XRFの定性分析により、金属製品の材質を確認することができます。
金属製品の素材確認
ステンレスと思われる金属製品があり、これがSUS304であるか、SUS316であるか確認したいという相談が持ち込まれた
（中央の1.2mm角の範囲にX線を照射して測定）
モリブデン(Mo)が検出されていることから、SUS316に近い鋼種と推察された。