構造解析用集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS/EBSD）
最新のFIB-SEMです。局所領域の断面加工と観察、TEM試料作製、三次元解析を行うことが可能です。本装置は高性能電子光学系を有したSEMを搭載しているため、金属、セラミックス、有機物など様々な試料から多様な情報を得ることができます。元素分析装置(EDS)、結晶方位解析装置(EBSD)も搭載しており、多角的な解析が可能です。
装置
構造解析用集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS/EBSD）
特徴
・微細な領域の断面加工と観察を行うことができます。
・材料の三次元解析を行うことができます。
・付属のEDSにより、試料の元素分析を行うことができます。
・付属のEBSDにより、結晶性材料の方位解析を行うことができます。
・低真空モードを使用することで、セラミックス等の絶縁材料を無蒸着で分析することができます。
メーカー
日本エフイー・アイ株式会社
型式
Scios LoVacシステム
仕様
| SEM分解能 | 1.0nm（15kV）、1.6nm（1kV） |
| 検出器 | 二次電子検出器 反射電子検出器 |
| 推奨試料サイズ | 最大30mm径×10mm程度 |
| FIB分解能 | 5nm |
| EDS | X-MaxN 150ｍｍ2（Oxford製） |
| 分析モード | 点分析、線分析、面分析 |
| 分析対象元素 | B～U |
| その他 | 低真空観察（10～50Pa） |