断面・平面イオンミリング（GATAN）
サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨することにより加工歪の少ない断面サンプルを作製する装置です。
液体窒素冷却機能を使用することで、ハンダや樹脂といった熱による変形等を伴うサンプルの断面作製も可能です。
また、特殊ホルダーを使用することで、EBSDなどの平面イオンミリングとしても使用することができます。
装置
イオンミリング装置
特徴
・イオンビームによる無応力加工のため、良質な断面を作製することができます。
・樹脂等の温度敏感な試料に対しては液体窒素冷却を使用することで、熱影響を最小限に抑えた加工を行うことができます。
メーカー
Gatan社
型式
Ilion+
仕様
| 加速電圧 | 1kV～6kV |
| 冷却温度 | 液体窒素冷却、温度調節機構あり |
用途
応用例とその試料調整
・精密機械研磨 → 断面作製用イオンミリング装置
・樹脂包埋 → 精密機械研磨 → 断面作製用イオンミリング装置
・機械研磨 → 断面試料作製用イオンミリング装置（平面加工）
・機械研磨 → 化学エッチング → 断面試料作製用イオンミリング装置（平面加工）