FIB-SEMによる断面観察事例
FIBで加工した断面を、SEMで斜め上から観察します。
![FIB-SEM](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA230_f001-1-e1644368116270.png)
分析事例(クリックで各分析事例に移動します)
FIB-SEMによるコネクタ表面のめっきの断面観察
<試料>
市販のコネクタ端子
FIB加工は無応力のため、Auめっき内のボイドも潰さずに観察することができます。
金属、セラミックス、高分子材料において同様の観察を行うことができます。
![FIB-SEMによるコネクタ表面のめっきの断面観察](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA230_f002-2-e1644367989279.png)
FIB-SEMによる塗膜の断面観察および分析
<試料>
塗膜
「FIB加工→断面のSEM観察→断面のEDS分析」を行うことにより、内部構造の観察と元素分析を行うことができます。
![](/kistec-manage/wp-content/uploads/KD3NA230_f003-2-e1644368002329.png)