2023年11月10日

真空蒸着装置の薄膜評価

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 膜材
  • #厚さ・膜厚
  • #性能評価
  • #機器使用
  • #薄膜作成・成膜
  • #形状測定

支援先企業：　株式会社エイエルエステクノロジー
KISTECの支援メニュー：機器使用（平成30年度）

（株）エイエルエステクノロジーの 有機ＥＬ研究用真空蒸着装置
（株）エイエルエステクノロジーの 有機ＥＬ研究用真空蒸着装置

製品概要

有機ＥＬディスプレイは、従来の液晶画面に代わり、携帯電話やテレビに採用されています。その研究開発には、真空蒸着装置という有機薄膜を製造する装置が必要不可欠です。支援先企業である（株）エイエルエステクノロジーは、創業以来、研究開発用の真空蒸着装置の製造・販売に特化しています。

KISTECの支援内容

支援先企業は、山形大学と共同で最先端の真空蒸着装置を開発しました。
その薄膜作製性能を顧客に十分に納得させるため、当研究所の膜厚測定器を使用して、試作した薄膜サンプルの薄膜成長速度や膜厚分布等を評価しました。
その結果、薄膜作製性能が十分であることが確認され、海外顧客に対する輸出につながりました。