2023年5月23日

フレキシブルディスプレイに用いるフィルムデバイスのレーザー剥離装置

電子技術部
海老名
  • 半導体・実装
  • 電気・電子製品
  • #製品化・事業化支援
  • #産学公連携事業化促進研究
  • #事業化
  • #薄膜作成・成膜

支援先企業：株式会社クォークテクノロジー
KISTECの支援メニュー：製品化・事業化支援事業／産学公連携事業化促進研究（令和２年度）

開発したレーザーリフトオフ装置
開発したレーザーリフトオフ装置

製品化への課題

高精度で高速表示を行うフレキシブルディスプレイの構成部品として、フィルムデバイスがあります。

この部品は、ガラス基板上にフィルムを成形後、基板から剥離して製造します。

本装置は、紫外線レーザーを利用することで、従来よりも低温でダメージの少ないデバイスの作製を可能としています。

KISTECの支援内容

ダメージの少ないフィルムデバイスを作製するため、デバイス製造時のベース基板からフィルムを剥離する工程（レーザーリフトオフ）において課題となっている、フィルムから発生するパーティクルの状態を観察しました。

その結果から、紫外線レーザーのビーム形状フラット化を助言し、デバイスのダメージ低減を可能とした製品化が実現しました。