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集束イオンビーム装置(マルチ解析用・FIB-SEM/EDS/EBSD)[Scios LoVacシステム]
川﨑技術支援部
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衝撃試験機(シャルピー・アイゾット)
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カールフィッシャー水分測定装置
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示差熱熱重量測定装置
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接触角計
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複合サイクル試験機(小型)
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高性能電気化学測定システム(ポテンショガルバノスタット/FRA)
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マイクロフォーカスX線検査装置(μF-X線)
川﨑技術支援部
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ワイヤボンディングの断面SEM観察事例
精密機械研磨により、ワイヤボンディングのような微小部位の断面作製が可能です。イオンミリング装置と組み...
川﨑技術支援部
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低エネルギーイオンミリングを用いた化合物半導体の高分解能観察例
FIBによるTEM試料作製ではGaイオンビームによるダメージ層(~20nm)が加工面に形成されてしま...
川﨑技術支援部
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FIB-SEMによる断面観察事例
FIBで加工した断面を、SEMで斜め上から観察します。 FIB-SEMによるコ...
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