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制御雰囲気炉TMA
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レーザー加工機
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冷熱衝撃試験機 [TSA-73ES]
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金属ナノペースト接合装置
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急速温度変化サイクル試験機 [ARSF-0250-15]
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磁性薄膜用三元スパッタ装置
電子技術部
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促進耐候性試験機（キセノン）
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電磁界解析装置
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複合サイクル試験機（大型）
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促進耐光性試験機（紫外線カーボン）
化学技術部
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冷熱衝撃試験機（大）[TSA-102ES]
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高度加速寿命試験機 [TPC-412M]
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