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分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）[EM002BF]
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Ｘ線光電子分光分析装置（走査型・XPS）[Quantera SXM]
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フーリエ変換赤外分光光度計（FT-IR）
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蛍光Ｘ線分析装置（微小部・XRF）[SEA6000VX HSFinder]
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イオンミリング装置（低エネルギー型）[Gentle Mill IV5]
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電波暗室及びシールド室
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