2021年2月5日

電気炉 [272M100]

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #熱処理
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概要

半導体プロセス／熱処理／酸化／拡散／シンター

機器情報

メーカー名 光洋リンドバーグ株式会社
型番 272M100
仕様 温度400～1200℃／安定性±0.25℃／均熱長350mm／N2、O2、Ar雰囲気／炉心管直径50mm
導入年度 1988