2021年3月1日

走査電子顕微鏡（電界放出型・FE-SEM/EDS）[JSM-7800F Prime]

川﨑技術支援部
溝の口
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走査電子顕微鏡（電界放出型・FE-SEM/EDS）[JSM-7800F Prime]

概要

最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。

検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。

【特徴】
・光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。
・30倍から100万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察することができます。
・STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。

機器情報

メーカー名 日本電子株式会社
型番 JSM-7800F　Prime
仕様 分解能：0.7nm（15kV）, 0.7nm（1kV）
検出器：上方検出器（UED）、上方二次電子検出器（USD）、下方検出器（LED）、反射電子検出器（BED）
試料サイズ：最大100mm径
EDS：NORAN System7（サーモフィッシャーサイエンティフィック製）
分析モード：点分析, 線分析, 面分析
分析対象元素：B～U
その他：STEM観察, 低真空観察, GB観察
導入年度 2014

ご利用方法

試験計測（依頼試験）、技術開発受託で利用できます。