2022年12月21日

集束イオンビーム装置（マルチ解析用・FIB-SEM/EDS/EBSD）[Scios LoVacシステム]

川﨑技術支援部
溝の口
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集束イオンビーム装置（マルチ解析用・FIB-SEM/EDS/EBSD）[Scios LoVacシステム]1600ｘ900

概要

最新のFIB-SEMです。局所領域の断面加工と観察、TEM試料作製、三次元解析を行うことが可能です。本装置は高性能電子光学系を有したSEMを搭載しているため、金属、セラミックス、有機物など様々な試料から多様な情報を得ることができます。元素分析装置(EDS)、結晶方位解析装置(EBSD)も搭載しており、多角的な解析が可能です。

特徴

・微細な領域の断面加工と観察を行うことができます。
・材料の三次元解析を行うことができます。
・付属のEDSにより、試料の元素分析を行うことができます。
・付属のEBSDにより、結晶性材料の方位解析を行うことができます。
・低真空モードを使用することで、セラミックス等の絶縁材料を無蒸着で分析することができます。

機器情報

メーカー名 日本エフイー・アイ株式会社
型番 Scios LoVacシステム
仕様 SEM分解能：1.0nm（15kV）、1.6nm（1kV）
検出器：二次電子検出器、反射電子検出器
推奨試料サイズ：最大30mm径×10mm程度
FIB分解能：5nm
EDS：X-MaxN　150ｍｍ2（Oxford製）
分析モード：点分析、線分析、面分析
分析対象元素：B～U
その他 低真空観察（10～50Pa）
導入年度 2016

ご利用方法

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）で利用できます。