2021年2月8日

走査電子顕微鏡（汎用SEM/EDS/LV）[JSM-IT200LA]

機械・材料技術部

海老名

概要

タングステンフィラメントタイプの走査電子顕微鏡（SEM）で、CCD画像（光学画像）とSEM像が連動する機能を有し、低倍率（光学）から高倍率観察（SEM）まで、同一の観察視野のまま連続的な観察が可能です（Zeromag機能）。

分解能は高真空モードで3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)、15.0nm(1kV)、低真空モードで4.0nm(30kV)です。

また、導電性の無い物質の観察に適した低真空モード（10～100Pa）での観察や、高真空モードでの観察、エネルギー分散型X線分析装置（EDS）によるホウ素（B）からウラン（U）までの元素分析や観察面の元素マッピングも可能です。

さらに、複数のSEM画像を自動的に重ね合わせ、広範囲の合成画像を作成する機能（モンタージュ機能）を有しており、広範囲のSEM画像を得ることも可能です。

【用途・特徴】
観察可能な最大試料サイズはΦ150mm×48mmtで、比較的大型の試料もそのまま観察することが可能です。

また、異物等の解析を行う場合は、CCD画像による広範囲の観察で異物の存在箇所を特定するとともに、特定した異物について、同一視野の拡大によるSEM観察やEDSによる元素分析を一連の作業で行うことが可能です。

メーカー名	日本電子株式会社
型番	JSM-IT200LA
仕様	分解能（高真空モード）：3.0 nm (30kV)、8.0 nm (3kV)、15.0 nm (1.0kV) 分解能（低真空モード）：4.0 nm (30kV BED) 写真倍率：×5～300,000 電子銃：Wフィラメント加速電圧：0.5～30 kV 低真空圧力設定範囲：10～100 Pa 最大試料寸法：150 mm 径 × 48 mm 高さ試料ステージ：XY 2軸モーター標準（ユーセントリック式） X : 80 mm Y : 40 mm z : 5～48 mm 傾斜：-10～90°　回転：360° 画像モード：二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像計測機能：あり（２点間距離、平行線間隔、角度、直径等） EDS分析：スペクトル分析、線分析、元素マップ検出可能元素：Be～U
導入年度	平成30年度

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）で利用できます。