走査電子顕微鏡(汎用SEM/EDS/LV)[JSM-IT200LA]

機械・材料技術部
海老名
  • 微細構造観察
  • 固体・表面分析
  • 金属材料
  • 機械製品
  • #元素分析
  • #表面観察
  • #電子顕微鏡
  • #結晶構造解析
  • #組成分析
走査電子顕微鏡(汎用SEM/EDS/LV)[JSM-IT200LA]

概要

タングステンフィラメントタイプの走査電子顕微鏡(SEM)で、CCD画像(光学画像)とSEM像が連動する機能を有し、低倍率(光学)から高倍率観察(SEM)まで、同一の観察視野のまま連続的な観察が可能です(Zeromag機能)。

分解能は高真空モードで3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)、15.0nm(1kV)、低真空モードで4.0nm(30kV)です。

また、導電性の無い物質の観察に適した低真空モード(10~100Pa)での観察や、高真空モードでの観察、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)によるホウ素(B)からウラン(U)までの元素分析や観察面の元素マッピングも可能です。

さらに、複数のSEM画像を自動的に重ね合わせ、広範囲の合成画像を作成する機能(モンタージュ機能)を有しており、広範囲のSEM画像を得ることも可能です。

【用途・特徴】
観察可能な最大試料サイズはΦ150mm×48mmtで、比較的大型の試料もそのまま観察することが可能です。

また、異物等の解析を行う場合は、CCD画像による広範囲の観察で異物の存在箇所を特定するとともに、特定した異物について、同一視野の拡大によるSEM観察やEDSによる元素分析を一連の作業で行うことが可能です。

機器情報

メーカー名 日本電子株式会社
型番 JSM-IT200LA
仕様 分解能(高真空モード):3.0 nm (30kV)、8.0 nm (3kV)、15.0 nm (1.0kV)
分解能(低真空モード):4.0 nm (30kV BED)
写真倍率 :×5~300,000
電子銃 :Wフィラメント
加速電圧 :0.5~30 kV
低真空圧力設定範囲 :10~100 Pa
最大試料寸法 :150 mm 径 × 48 mm 高さ
試料ステージ :XY 2軸モーター標準(ユーセントリック式) X : 80 mm Y : 40 mm z : 5~48 mm 傾斜:-10~90° 回転:360°
画像モード :二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像
計測機能 :あり(2点間距離、平行線間隔、角度、直径等)
EDS分析 :スペクトル分析、線分析、元素マップ
検出可能元素 :Be~U
導入年度 2018

ご利用方法

依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)で利用できます。