2022年1月21日
電子線マイクロアナライザ（電界放出型・FE-EPMA）
機械・材料技術部
海老名
- 微細構造観察
- 固体・表面分析
- 無機材料
- 電気・電子製品
- 塗装・メッキ製品
- #JKA
- #元素分析
- #電子顕微鏡
- #組成分析
- 本装置は、公益財団法人JKAによる補助により導入しました。
概要
EPMA（Electron Probe Micro Analyzer）は、細く絞った電子線を試料の表面に走査・照射して、発生するX線、二次電子、反射電子を検出することで微小領域（μm以下）の元素分析や10万倍程度の高倍率な画像を得る装置です。
弊所が保有する装置は電界放射型（Field Emission : FE）の電子銃を備えるFE-EPMAです。FE-EPMAは電子ビームが従来型のEPMAに比べ非常に細く、0.1 ミクロン単位の狭い領域を分析できます。
波長分散型X線分光器（WDS）とエネルギー分散型X線分光器（EDS）を同一のソフトウエアで制御可能なため、両者のメリットが集約されたシームレスな同時分析（WDS/EDSインテグレーションシステム分析）が可能です。
【用途・特徴】
微小領域において高感度の元素分析が可能なこと、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材料を対象にできることから、自動車関連、電子部品、産業機器、船舶設備、航空・宇宙、化学、資源エネルギー、地質分野など幅広い分野の故障解析や研究、製品開発等に活用されています。
接点不良、腐食、微小な異物・付着物等の不良解析、めっき・コーティングの膜厚や層構造（断面試料を作製する必要あり）、製品変色等の調査に対応できますので、お気軽にお問い合わせください。
機器情報
| メーカー名 | 日本電子株式会社 |
|---|---|
| 型番 | JXA-iHP200F |
| 仕様 | 加速電圧：1～30 kV／照射電流範囲：1 pA～3 µA／WDX5ch／EDX／分析元素B～U／ 二次電子分解能：2.5 nm／分析条件二次電子分解能：20 nm（10 kV、10 nA）、50 nm（10 kV、100 nA）／ 試料寸法：標準的な試料ホルダを使用する場合、Φ32ｘ15 mm(H)以内となります。特殊なホルダを使用することにより、最大 100 mm x 100 mm x 50 mm(H)まで対応可能です。 |
| 導入年度 | 令和3年度 |
ご利用方法
依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、委託受託（KISTEC事業名：技術開発受託）で利用できます。
