2022年3月4日
表面粗さ･輪郭形状測定機
概要
表面粗さ・表面形状測定機とは、対象物の表面を触針でなぞり、表面の凸凹（粗さ）を評価・測定する装置です。
形状データ（断面曲線）に各種のフィルターをかけることで粗さ曲線に変換し数値として出力します。一般的に、図面指示でよく使われているRa評価以外に、目的の機能に沿った表面性能（光沢、摩擦、摩耗、気密、接着等）に関する評価が行えます。
形状データからは、寸法測定や幾何公差の評価も可能です。三次元座標測定機の接触子では接触できない、ネジ谷底や微小な角R等の測定に利用できます。
【用途・特徴】
本測定機では、3種類の検出器を選択できます。
1. 粗さ測定用検出器
おもにnm~μmの範囲で、形状データを検出し、各種フィルターをけかることで、表面粗さに関する各種評価を行います。また、断面曲線から、膜厚量や摩耗量の測定にも利用できます。
2. 表面形状測定用検出器
おもにμｍ～mmの範囲で、形状データを検出し、寸法測定や幾何公差の評価を行います。下方向に加え、上方向にも測定できるため、内径や外径、厚みも測定が可能です。
3. ハイブリッド検出器
1.と2.の機能を有する検出機です。おもにnm～ｍｍの範囲で、粗さ測定と寸法測定を同時に行うことが可能です。
規格
JIS2013、JIS2001、JIS1994、JIS1982、ISO2009、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME2009、ASME2002/1995、CNOMO に準拠機器情報
| メーカー名 | 株式会社東京精密 |
|---|---|
| 型番 | SURFCOM NEX 241 SD2-13 |
| 仕様 | 駆動範囲： X軸：100mm、 Z軸：450mm 測定範囲（Z軸）： 粗さ：1000μm、 形状：60mm、 ハイブリッド：13mm(50mm測定子使用時)、26mm(100mm測定子使用時） 測定分解能： 粗さ：0.1～20nm、 形状：0.04μm、 ハイブリッド：0.9nm(50mm測定子使用時)、1.8nm(100mm測定子使用時) |
| 導入年度 | 令和3年度 |
ご利用方法
依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、機器使用で利用できます。
機器使用料金
| NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 料金 |
|---|---|---|---|
| E7830 | 表面形状測定装置 | 東京精密 サーフコムNEX241 SD2-13 | 1,980円 |
