2022年12月12日
マイクロフォーカスＸ線検査装置（μF-X線）
概要
X線透過観察をおこなうことにより、部品等の内部を非破壊で観察することができます。
物質によるX線の透過率の差を利用して部品や材料内部を観察する装置で、空港の手荷物検査や医療用レントゲンと同じ原理です。
マイクロフォーカスX線検査装置はその名前の通り最小焦点寸法が1μmと非常に小さいため、通常のX線透過観察装置より高倍率で非破壊観察することが可能で、主として電子部品の解析に使用されます。
用途
・パッケージ内部の部品配置観察、亀裂や欠陥の調査
・実装基板のBGA製品検査
・動作不良製品、部品の非破壊内部観察
応用例
・パッケージ内部の部品配置観察、亀裂や欠陥の調査
・実装基板のBGA製品検査
・動作不良製品、部品の非破壊内部観察
機器情報
| メーカー名 | メディエックステック株式会社 |
|---|---|
| 型番 | MXT-160UU |
| 仕様 | 最大試料寸法： 300mm×250mm 管電圧： 40～140kV 焦点寸法： 1μm以下 ステージ可動範囲： X方向 300mm, Y方向 250mm, Z方向 250mm |
| 導入年度 | 平成10年度 |
ご利用方法
依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、機器使用で利用できます。
機器使用料金
| NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 料金 |
|---|---|---|---|
| K2720 | マイクロフォーカスＸ線検査装置 [MXT-160UU] （30分以内） | メディエックステック MXT-160UU | 4,070円 |
| K2725 | マイクロフォーカスＸ線検査装置 [MXT-160UU] （追加15分当たり） |
メディエックステック MXT-160UU | 1,650円 |
