2021年3月1日
走査電子顕微鏡(電界放出型・FE-SEM/EDS)[S-4800]
概要
最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。
【特徴】
・材料の表面形態観察を30倍から80万倍の範囲で観察できます。
・光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
・付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
・低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡(STEM)観察が可能です。
機器情報
メーカー名 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ |
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型番 | S-4800 |
仕様 | 分解能:1.0nm(15kV) 1.4nm(1kVリターディングモード) 検出器: 二次電子検出器、反射電子検出器 試料サイズ:最大100mm径 EDS:Gnensis2000(EDAX製) 分析モード:点分析, 線分析, 面分析 分析対象元素:B~U その他:透過電子検出器, EBIC観察ユニット、リターディング観察 |
導入年度 | 2014 |
ご利用方法
依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)、委託受託(KISTEC事業名:技術開発受託)、機器使用で利用できます。
機器使用料金
NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 料金 |
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K2015 | FE-SEM/EDS [S-4800] | 日立ハイテクノロジーズ S-4800 | 39,380円 |