2021年3月1日

走査電子顕微鏡（電界放出型・FE-SEM/EDS）[S-4800]

川﨑技術支援部
溝の口
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走査電子顕微鏡（電界放出型・FE-SEM/EDS）[S-4800]

概要

最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。

【特徴】
・材料の表面形態観察を30倍から80万倍の範囲で観察できます。
・光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
・付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
・低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡（STEM）観察が可能です。

機器情報

メーカー名 株式会社日立ハイテクノロジーズ
型番 S-4800
仕様 分解能：1.0nm（15kV）　1.4nm（1kVリターディングモード）
検出器： 二次電子検出器、反射電子検出器
試料サイズ：最大100mm径
EDS：Gnensis2000（EDAX製）
分析モード：点分析, 線分析, 面分析
分析対象元素：B～U
その他：透過電子検出器, EBIC観察ユニット、リターディング観察
導入年度 2014

ご利用方法

試験計測（依頼試験）、技術開発受託、機器使用で利用できます。

機器使用料金

NO. 設備機器名 メーカー・型式 料金
K2015 FE-SEM/EDS　　[S-4800]　 日立ハイテクノロジーズ 　S-4800 39,380円
観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。 ご要望に応じて見積書を作成いたします。