2021年2月8日
走査プローブ顕微鏡
概要
【用途・特徴】
試料表面の原子サイズからnmオーダーまでの凹凸の形状を観察する装置です。
【計測事例】
原子ステップサファイア（左）及び電子線レジストパターン（右）。
原子数個の高さから300 nmの表面凹凸も観察することが可能です。
顕微鏡像は表面形状について定量的に評価することができ、表面粗さ解析等に対応しています。
機器情報
| メーカー名 | セイコー電子工業株式会社 |
|---|---|
| 型番 | SPI3800 |
| 導入年度 | 1995 |
ご利用方法
試験計測（依頼試験）で利用できます。