2021年2月2日

イオンプレーティング装置

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #薄膜作成・成膜
  • #電子・半導体
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概要

【用途・特徴】
金属、合金、酸化物、窒化物の成膜 表面処理

機器情報

メーカー名 株式会社昭和真空
型番 SIP-700
仕様 到達真空度：2×10-5Pa以下基板加熱温度：600℃蒸着用電子銃：3元、10kw高周波電圧：2kwバイアス電圧：3kwバイポーラパルス
導入年度 平成14年度