2021年2月5日
膜厚計（小坂研究所・ET4000AKR）
概要
【用途・特徴】
薄膜の厚さ測定。表面粗さ測定（３次元）
機器情報
| メーカー名 | 株式会社小坂研究所 |
|---|---|
| 型番 | ET4000AKR |
| 仕様 | 最大サンプルサイズ：210×210mm 最大サンプル厚さ：50mm（治具の高さを含む） Ｘ軸（測定長）：100mm スケール分解能：0.01μm Ｙ軸（連続測定長）：10mm ステップ量：0.1μm Ｚ軸（上下動）52mm 検出器：最大範囲 100μm 測定力 10μN～500μN 分解能 0.1nm（±3.2μmレンジ） |
| 導入年度 | 2006 |
ご利用方法
試験計測（依頼試験）、機器使用で利用できます。
機器使用料金
| NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 料金 |
|---|---|---|---|
| E6970 | 触針式膜厚計 | 小坂研究所 ET4000AKR | 2,090円 |