2021年2月5日
膜厚計(小坂研究所・ET4000AKR)
概要
【用途・特徴】
薄膜の厚さ測定。表面粗さ測定(3次元)
機器情報
メーカー名 | 株式会社小坂研究所 |
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型番 | ET4000AKR |
仕様 | 最大サンプルサイズ:210×210mm 最大サンプル厚さ:50mm(治具の高さを含む) X軸(測定長):100mm スケール分解能:0.01μm Y軸(連続測定長):10mm ステップ量:0.1μm Z軸(上下動)52mm 検出器:最大範囲 100μm 測定力 10μN~500μN 分解能 0.1nm(±3.2μmレンジ) |
導入年度 | 平成18年度 |
ご利用方法
依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)、機器使用で利用できます。
機器使用料金
NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 料金 |
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E6970 | 触針式膜厚計 | 小坂研究所 ET4000AKR | 2,090円 |