2021年2月8日

走査電子顕微鏡（電界放出型・FE-SEM/EDS/EBSD）[JSM-7800F Prime]

機械・材料技術部

海老名

概要

電界放射（フィールドエミッション：FE）型の電子銃を備えた高分解能走査電子顕微鏡です。観察している箇所の元素分布や結晶構造の解析が可能な付属機器が装着されており、試料の形状だけでなく物質の状態を総合的に知ることができます。

【用途・特徴】
10万倍以上の高倍率での観察においても鮮明な画像を得ることができます。エネルギー分散型分光分析（EDS）装置と後方散乱電子線回折（EBSD）装置を備え、同一の観察視野に対して元素分布と結晶方位分布の同時測定が可能です。

メーカー名	日本電子株式会社
型番	JSM-7800F Prime
仕様	走査電子顕微鏡本体：JEOL　JSM-7800F Prime、分解能：1.0nm（15kV）、検出器：二次電子、反射電子、最大試料サイズ：100mmΦx40mmH エネルギー分散分光分析（EDS）装置：Oxford Instruments 社製 AZtec Energy、検出器：80mm^2 x２後方散乱電子線回折（EBSD）装置：Oxford Instruments 社製 AZtec HKL、検出器：Nordlys Nano
導入年度	平成28年度

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、委託受託（KISTEC事業名：技術開発受託）で利用できます。