概要

【用途・特徴】
紫外線により、紫外線に反応する物質（感光性樹脂）に微細パターンを形成します。

機器情報

メーカー名	ミカサ株式会社
型番	MA-20型
仕様	マスク合せ精度2μm／ウエハサイズ3インチ以下
導入年度	平成元年度

ご利用方法

機器使用で利用できます。

機器使用料金

※ 特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。

NO.	設備機器名	メーカー・型式	料金
E6690	マスクアライナ	ミカサ　MA-20	7,590円