2021年2月2日

マスクアライナ

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #電子・半導体
no image

概要

【用途・特徴】
紫外線により、紫外線に反応する物質（感光性樹脂）に微細パターンを形成します。

機器情報

メーカー名 ミカサ株式会社
型番 MA-20型
仕様 マスク合せ精度2μm／ウエハサイズ3インチ以下
導入年度 1989