2021年2月1日

ＥＣＲプラズマエッチング装置

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #薄膜作成・成膜
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概要

【用途・特徴】
ドライエッチング加工

機器情報

メーカー名 株式会社ダイヘン
型番 ESQF-20L
仕様 プラズマ発生方式；電子サイクロトロン共鳴／マイクロ波出力；1KW／RFバイアス；100W／最高磁束密度；2000Gauss／試料サイズ；3inch／試料加熱温度；400℃
導入年度 1991