2021年2月2日 イオンプレーテング実験装置 電子技術部 海老名 微細加工 電子材料 電気・電子製品 #薄膜作成・成膜 #電子・半導体 概要 【用途・特徴】 薄膜製造 機器情報 メーカー名 日本真空技術株式会社 型番 DRP-40E 導入年度 1983