2021年2月3日

高周波スパッタリング装置

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #薄膜作成・成膜
  • #電子・半導体
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概要

【用途・特徴】
薄膜作成

機器情報

メーカー名 小林理化器械株式会社
型番 SPF-210
仕様 ターゲット径4インチ／逆スパッタ機構付
導入年度 1985