概要

【用途・特徴】
薄膜作成

機器情報

メーカー名	小林理化器械株式会社
型番	SPF-210
仕様	ターゲット径4インチ／逆スパッタ機構付
導入年度	1985

ご利用方法

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）で利用できます。