2021年2月3日
酸化拡散装置
概要
【用途・特徴】
酸素や水蒸気を利用し、Si(シリコン)ウェハへ熱酸化により、酸化膜の形成を行います。また、Siウエハの不純物拡散を行います。
機器情報
メーカー名 | KHエレクトロニクス株式会社 |
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仕様 | 抵抗加熱式横型/温度範囲400~1200℃/ウエハサイズ4インチ以下(推奨は3インチまで)/ドライ酸化、ウエット酸化 |
導入年度 | 1989 |
ご利用方法
依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)、機器使用で利用できます。
機器使用料金
NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 料金 |
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E6740 | 酸化拡散装置 | KHエレクトロニクス 特別仕様 | 19,360円 |