2021年3月2日

減圧熱処理装置

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #熱処理
  • #電子・半導体
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概要

【用途・特徴】
減圧下において水素ガス等を導入し、加熱することにより、熱処理を行います。

機器情報

メーカー名 三栄理研株式会社
型番 特別仕様
仕様 最高加熱温度1000℃／抵抗加熱方式横型炉／ウエハサイズ3インチ以下／導入可能ガス　酸素(O2)、窒素(N2)、アルゴン(Ar)、水素(H2)／クラス1,000クリーンルーム内設置
導入年度 1989