概要

【用途・特徴】
減圧下において水素ガス等を導入し、加熱することにより、熱処理を行います。

機器情報

メーカー名	三栄理研株式会社
型番	特別仕様
仕様	最高加熱温度1000℃／抵抗加熱方式横型炉／ウエハサイズ3インチ以下／導入可能ガス　酸素(O2)、窒素(N2)、アルゴン(Ar)、水素(H2)／クラス1,000クリーンルーム内設置
導入年度	1989

ご利用方法

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、委託受託（KISTEC事業名：技術開発受託）で利用できます。