2021年2月5日

電気炉

機械・材料技術部
海老名
  • 加工
  • セラミックス・無機酸化物
  • #熱処理
電気炉

概要

半導体プロセス／熱処理／酸化／拡散／シンター

機器情報

メーカー名 光洋リンドバーグ株式会社
型番 272M100
仕様 温度400～1200℃／安定性±0.25℃／均熱長350mm／N2、O2、Ar雰囲気／炉心管直径50mm
導入年度 1988