2021年2月2日

マグネトロンスパッター装置

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #薄膜作成・成膜
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概要

【用途・特徴】
薄膜製造

機器情報

メーカー名 日電バリアン株式会社
型番 SPF-210H
仕様 高周波スパッタ
導入年度 1978