2021年2月2日
マグネトロンスパッター装置
概要
【用途・特徴】
薄膜製造
機器情報
メーカー名 | 日電バリアン株式会社 |
---|---|
型番 | SPF-210H |
仕様 | 高周波スパッタ |
導入年度 | 昭和53年度 |
ご利用方法
依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)で利用できます。
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2021年2月2日
【用途・特徴】
薄膜製造
メーカー名 | 日電バリアン株式会社 |
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型番 | SPF-210H |
仕様 | 高周波スパッタ |
導入年度 | 昭和53年度 |
依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)で利用できます。