2021年2月2日

アッシャー装置

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #薄膜作成・成膜
  • #電子・半導体
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概要

【用途・特徴】
半導体製造プロセス装置/レジストの灰化/表面処理

機器情報

メーカー名 東京応化工業株式会社
型番 OPM-EM600
仕様 振周波数13.56MHz/発振最大出力500W(オートチューニング)/酸素またはCF4導入可能/
最大基板サイズ：4インチ、治具を用意いただければ多数枚処理可能です。
導入年度 1992