2021年2月2日
アッシャー装置
概要
【用途・特徴】
半導体製造プロセス装置/レジストの灰化/表面処理
機器情報
| メーカー名 | 東京応化工業株式会社 |
|---|---|
| 型番 | OPM-EM600 |
| 仕様 | 振周波数13.56MHz/発振最大出力500W(オートチューニング)/酸素またはCF4導入可能/ 最大基板サイズ：4インチ、治具を用意いただければ多数枚処理可能です。 |
| 導入年度 | 平成4年度 |
ご利用方法
依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、機器使用で利用できます。
機器使用料金
| NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 料金 |
|---|---|---|---|
| E6880 | アッシャー装置 | 東京応化工業 OPM-EM600 | 12,650円 |