陽極接合装置

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #電子・半導体
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概要

【用途・特徴】
半導体と金属、またはセラミックスと金属の陽極接合。

機器情報

メーカー名 アユミ工業株式会社
型番 AB-40特注品
仕様 最大印加電圧1000V/最大印加電流200mA/加熱温度500℃/温度均一性±10℃/到達真空度10-6Torr
導入年度 1993