2021年2月5日

非接触ミクロン厚さ測定機

電子技術部
海老名
  • 半導体・実装
  • 電気・電子製品
  • #厚さ・膜厚
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概要

【用途・特徴】
梁や板の部分の厚み及び穴の深さ及び段差を非接触(光学式)で局所的に測定できます。MEMSサンプルの寸法測定に有効。

機器情報

メーカー名 ユニオン光学株式会社
型番 THS-1
仕様 深さ方向測定分解能0.1μm、厚さ測定範囲0～10mm、光学式焦点位置検出方式
導入年度 平成10年度