2021年2月5日
非接触ミクロン厚さ測定機
概要
【用途・特徴】
梁や板の部分の厚み及び穴の深さ及び段差を非接触(光学式)で局所的に測定できます。MEMSサンプルの寸法測定に有効。
機器情報
| メーカー名 | ユニオン光学株式会社 |
|---|---|
| 型番 | THS-1 |
| 仕様 | 深さ方向測定分解能0.1μm、厚さ測定範囲0～10mm、光学式焦点位置検出方式 |
| 導入年度 | 1998 |
使用機器USED EQUIPMENT