超深度形状測定顕微鏡(カラーレーザ顕微鏡)

電子技術部
海老名
  • 微細構造観察
  • 電子材料
  • #形状測定
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概要

【用途・特徴】
3次元形状測定/膜厚測定

機器情報

メーカー名 株式会社キーエンス
型番 VK8500
仕様 観察倍率50~16000倍/リアルカラー3次元表面解析機能/表面形状測定分解能0.01μm
導入年度 平成15年度

ご利用方法

依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)、委託受託(KISTEC事業名:技術開発受託)で利用できます。

機器使用料金

NO. 設備機器名 メーカー・型式 料金
E6960 超深度形状測定顕微鏡 (レーザー顕微鏡) キーエンス VK8500 2,090円
※ 特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。