2021年2月3日
スピンコーター
概要
【用途・特徴】
フォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の塗布（スピンコート）
機器情報
| メーカー名 | ミカサ株式会社 |
|---|---|
| 型番 | MS-A150 |
| 仕様 | 試料ホルダ4インチ角、3インチ○、2インチ○、10ミリ角／設置環境 クリーンルーム（クラス1,000）、イエロールーム、有機溶剤用ドラフト内 |
| 導入年度 | 平成23年度 |
ご利用方法
依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、委託受託（KISTEC事業名：技術開発受託）で利用できます。