2021年2月3日

スピンコーター

電子技術部
海老名
  • 微細加工
  • 電子材料
  • 電気・電子製品
  • #薄膜作成・成膜
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概要

【用途・特徴】
フォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の塗布（スピンコート）

機器情報

メーカー名 ミカサ株式会社
型番 MS-A150
仕様 試料ホルダ4インチ角、3インチ○、2インチ○、10ミリ角／設置環境　クリーンルーム（クラス1,000）、イエロールーム、有機溶剤用ドラフト内
導入年度 2011