2022年12月21日
レーザーマーカー
概要
レーザーマーカーは試料表面をCCDカメラで拡大観察しながら、細く絞ったレーザー光を照射し、任意の場所へ簡単にマーキングできる装置です。集束イオンビーム装置（FIB）や走査電子顕微鏡（SEM）の電子像では確認が困難であった変色部位などの特定に、そのマーキング機能は威力を発揮します。
微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。
特徴
・532nmと355nmの2種類のレーザーを切り替えて使用できるため、金属材料、絶縁材料、TFT、などの多種類のサンプルに対応可能。
・対物レンズの倍率を変えることで、異なったサイズ（1μm角～150μm角）のマーキングが行うことができます。
機器情報
| メーカー名 | HOYA CANDEO OPTRONICS㈱社 |
|---|---|
| 型番 | LR2100ST |
| 仕様 | レーザー波長：532nmと355nmの2種類（切替式） 照射ビーム寸法：1μm角～150μm角 対物レンズ：10×（観察用）、20×、50×、100× |
| 導入年度 | 2007 |
ご利用方法
試験計測（依頼試験）、機器使用で利用できます。
機器使用料金
| NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 料金 |
|---|---|---|---|
| K2635 | レーザーマーカ [LR2100ST] （30分当たり） | HOYA LR2100ST | 3,080円 |
