2022年12月21日

レーザーマーカー

川﨑技術支援部

溝の口

概要

レーザーマーカーは試料表面をCCDカメラで拡大観察しながら、細く絞ったレーザー光を照射し、任意の場所へ簡単にマーキングできる装置です。集束イオンビーム装置（FIB）や走査電子顕微鏡（SEM）の電子像では確認が困難であった変色部位などの特定に、そのマーキング機能は威力を発揮します。

微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。

・532nmと355nmの2種類のレーザーを切り替えて使用できるため、金属材料、絶縁材料、TFT、などの多種類のサンプルに対応可能。
・対物レンズの倍率を変えることで、異なったサイズ（1μm角～150μm角）のマーキングが行うことができます。

メーカー名	HOYA CANDEO OPTRONICS㈱社
型番	LR2100ST
仕様	レーザー波長：532nmと355nmの2種類（切替式）照射ビーム寸法：1μm角～150μm角対物レンズ：10×（観察用）、20×、50×、100×
導入年度	2007

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）、機器使用で利用できます。

※ 特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。
NO.	設備機器名	メーカー・型式	料金
K2635	レーザーマーカ　[LR2100ST]　（30分当たり）	HOYA 　LR2100ST	3,080円