2021年3月1日
集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS)[XVision 200TB]
概要
高精度加工・極低加速電圧加工が可能な集束イオンビーム(FIB)に、超高解像度のフィールドエミッション走査電子顕微鏡(FE-SEM)を搭載した小片試料~200mmφウェーハまでに対応したトリプルビーム装置です。
特徴
・XVision200TBにはFIB-SEM-Arの3つのビームが試料の同一位置に交差するトリプルビームシステムを採用。(左下図)
・断面加工観察・TEM試料作成およびアルゴン低加速ミリング仕上げ・EDS分析が1台で可能。
・FIB加工を中断することなく加工中の断面SEM像をリアルタイムで観察できるため、微細な加工終点を逃さずに加工可能。
・チャンバーSE検出器、InLensSE検出器、EsB反射電子検出器・EDSなど、微細化の進むデバイス解析に必須なイメージング /分析ツールを搭載。
・最大200mmφウェーハ面内の複数箇所からのTEM試料作成機能によ り、プロセス評価・故障解析に威力を発揮。
機器情報
メーカー名 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 |
---|---|
型番 | XVision 200TB |
仕様 | SEM分解能:3.0nm(5kV時) 検出器:二次電子検出器、反射電子検出器 推奨試料サイズ:最大200mm径 FIB分解能:4nm(30kV時) EDS:NORAN System7(サーモフィッシャーサイエンティフィック製) 分析モード:点分析、線分析、面分析 分析対象元素:B~U その他:アルゴンイオンガン搭載 |
導入年度 | 2007 |
ご利用方法
依頼試験(KISTEC事業名:試験計測)、委託受託(KISTEC事業名:技術開発受託)で利用できます。