2021年3月1日

イオンミリング装置（低エネルギー型）[Gentle Mill IV5]

川﨑技術支援部

溝の口

概要

透過電子顕微鏡（TEM）サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

・集束イオンビーム装置（FIB）で作製したTEMサンプルのダメージ層を除去することができます。
・試料回転ステージにより、360°全方向から任意の方向でビーム照射が可能です。
・サンプルを薄片化することで、高分解能観察が可能となります。

メーカー名	リンダ社
型番	Model Ⅳ5
仕様	加速電圧：100V～2kV ビーム入射角度：1～45° オシレーション機能：1～120° 試料サイズ：3mmφメッシュ、FIB用各種メッシュ
導入年度	2012

依頼試験（KISTEC事業名：試験計測）で利用できます。

NO.	設備機器名	メーカー・型式	料金
K2425	低エネルギーイオン研磨装置　[Model IV5（ジェントルミル）]	リンダ　Model IV5（ジェントルミル）	12,100円