薄膜硬さ試験

電子技術部
溝の口
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本試験では、従来のビッカース硬さ試験機と異なり、圧子駆動部に変位計を装備し、加えた試験力と圧子の押込み深さを測定することで材料特性を示すことが可能です。圧子押込み過程で負荷する試験力と押込み深さを連続的に測定し、グラフとして表示することができます。このグラフからは塑性、弾性、クリープ変形の他、材料のヤング率と関連性をもつとされている押込み係数などを求めることができます。また、平面圧子を用いることによって先端パッケージに向けた微細なバンプの圧縮試験も実施可能です。

*硬さ試験を行うに当たっては、試料を試料台に乗せるために、切削加工が必要となる場合があります。
(横浜市工業技術支援センター様からの移転機器)

料金

NO. 項目 単位 料金
E0778 薄膜硬さ試験 1時間当たり 5,940円

担当部署

電子技術部 電子デバイスグループ