2024年8月21日
高分解能（１nm以下）フォトルミネッセンス測定
半導体中の不純物（ドーピング元素）をスペクトルピーク値から定性分析し、ピーク強度から半定量分析します。
【試験対象】
シリコン、ガリウム砒素
Arイオンレーザー照射、4.5～５Kの極低温での評価
使用機器
料金
| NO. | 項目 | 単位 | 料金 |
|---|---|---|---|
| E1070 | 高分解能（1nm以下）フォトルミネッセンス測定 | １試料１条件につき | 74,250円 |