2024年8月21日

触針式膜厚測定

電子技術部
海老名
  • 半導体・実装
  • 電気・電子製品
  • #半導体特性評価

試料表面に触針を走査させて、段差の高さから薄膜の膜厚を測定します。

【試験対象】
　薄膜付きの基板で膜部と基板露出部で段差があるもの
　※基板全面に薄膜が付いた試料や段差がない試料は測定できません
　※基板の表面粗さが大きい場合、段差の高さのばらつきが大きくなるために評価ができないことがあります

【関連キーワード】
膜厚、スタイラス、段差

料金

NO. 項目 単位 料金
E1125 触針式膜厚測定 １測定につき 4,400円

担当部署

電子技術部　電子材料グループ