微小部品の三次元形状観察、測定
・白色コンフォーカル機能による高精細画像取得、非接触三次元形状測定
　視野(H×V)の例：300μm×300μm (対物レンズ50x使用時)

・光干渉測定機能による非接触三次元形状測定
　視野(H×V)の例：1500μm×1500μm (二光束干渉対物レンズ10x使用時)

【試験対象】
　機械部品、電子部品、電子材料、半導体　等

例：プリント基板の銅配線幅・厚さ測定、他　非接触（光学式）で三次元形状を測定。

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
E1145	ハイブリッドレーザー顕微鏡観察	１測定１解析につき	8,690円
E1146	ハイブリッドレーザー顕微鏡観察　１視野追加	１視野追加につき	4,290円

担当部署

電子技術部　電子材料グループ