真空雰囲気中で金属を加熱蒸発させて基板にその金属の薄膜を堆積させます。

【試験対象】
　電子材料

使用機器

料金

NO.	項目	単位	料金
E1156	真空蒸着	標準１試料当たり	37,070円
E1157	真空蒸着　１条件増	１条件増すごとに	17,270円

担当部署

電子技術部　電子システムグループ